OLS 5000作為奧林巴斯新一代3D測量激光顯微鏡的代表作，具有更加完善的功能和更為廣泛的應用前景。它能夠在不損傷樣品、不做導電處理的前提下，對大尺寸樣品實施非破壞性觀察。整個掃描、成像、測量、報告工作過程僅需幾秒至一兩分鐘即可完成，顯著提升了檢測工作的效率和安全性。該產品在半導體、平板顯示、精密機械部件，電子器件、微機電系統、高精密電路板制造以及材料等領域有著非常廣泛的應用前景。
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產品優勢：
捕捉任意表面形狀
快速獲得可靠數據
使用簡單，只需放置樣品并按一下按鈕即可
可測量具有挑戰性的樣品
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技術規格：
型號 |
OLS5000-SAF |
OLS5000-SMF |
OLS5000-LAF |
OLS5000-EAF |
OLS5000-EMF |
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總倍率 |
54x - 17,280x |
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視場直徑 |
16um - 5,120um |
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測量原理 |
光學系統 |
反射式共聚焦激光掃描激光顯微鏡 |
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反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 | ||||||
彩色 | ||||||
彩色DIC | ||||||
光接收元件 |
激光：光電倍增管（2ch） |
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彩色：CMOS彩色相機 | ||||||
高度測量 |
顯示分辨率 |
0.5nm |
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Linear scale |
0.78nm |
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動態范圍 |
16 bits |
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重復性*1 *2 *6 |
10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm |
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準確性*1 *3 *6 |
0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm]) |
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拼接圖像準確度?*1 *4 *6 |
10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm]) |
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測量噪聲*1 *5 *6 |
1nm [Typ] |
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寬度測量 |
顯示分辨率 |
1nm |
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重復性?*1 *6 |
10x : 0.2μm, 20x：0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm |
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準確度*1 *3 *6 |
測量值 +/- 1.5% |
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拼接圖像準確度 *1 *3 *6 |
10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm]) |
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單次測量時測量點的最大數量 |
4096 x 4096 pixel |
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測量點的最大數量 |
36 Mpixel |
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XY 載物臺配置 |
長度測量模塊 |
? |
無 |
無 |
? |
無 |
工作范圍 |
100 x 100mm Motorized |
100 x 100mm Manual |
300 x 300 mm Motorized |
100 x 100mm Motorized |
100 x 100mm Manual |
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最大樣品高度 |
100mm |
40mm |
37mm |
210mm |
150mm |
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激光光源 |
波長 |
405nm |
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最大輸出 |
0.95 mW |
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激光分類 |
2類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) |
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彩色光源 |
白光 LED |
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電氣功率 |
240 W |
240 W |
278 W |
240 W |
240 W |
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質量 |
顯微鏡主體 |
約31 kg |
約?32 kg |
約?50 kg |
約43 kg約 |
?44 kg |
控制箱 |
約12 kg |
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*1 在 ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)規定的恒溫恒濕環境下使用時提供保證 (溫度: 20?C±1?C, 濕度: 50%±1%) 。
*2 在使用 MPLAPON LEXT系列物鏡測量時.
*3 在使用專用LEXT物鏡測量時.
*4 在使用20X或更高倍率專用LEXT物鏡測量時.
*5.在使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時的典型值
*6.基于奧林巴斯認證體系保證
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