Dimension? Icon ?原子力顯微鏡以其優秀的圖像分辨率,與布魯克特有的電子掃描算法相結合,顯著提升了測量速度與成像質量。Dimension? 系列大樣品臺原子力顯微鏡始終處于行業領先地位,配置溫度補償位置傳感器,實現了Z 軸亞埃級和 XY 軸埃級的低噪音水平,將其應用在 90 微米掃描范圍的大樣品臺體系上,使用效果甚至優于高分辨小樣品臺的開環噪音水平。全新設計的 XYZ 閉環掃描頭,即使在較高的掃描速度工作時,也不會損壞圖像質量,實現了更大的數據采集輸出量,是研發新技術強大的助手。
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主要應用:
1、 主要用于材料納米級表面形貌、粗糙度的測量,同時還可以測試納米材料的表面機械性能、電學、磁學和電化學等物理特性等;
2、 廣泛應用于半導體、納米材料、通訊、生物學、數據儲存、食品、化學、地質、能源、環境等領域。
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主要參數:
XY 方向掃描范圍 |
90μm x 90μm(典型值),85μm(最小值) |
Z 方向掃描范圍 |
10μm(典型值), 9.5μm(最小值) |
縱向噪音水平 |
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XY 方向閉環噪音水平 |
≤ 0.15nm RMS 值(在典型的成像帶寬條件下 ( 最高可達 625Hz)) |
XY 方向開環噪音水平 |
≤ 0.1nm RMS 值(在典型的成像帶寬條件下 ( 最高可達 625Hz)) |
Z 方向閉環噪音水平 |
35pm RMS 值(在合適的環境,典型的成像帶寬條件下 ? ( 最高可達 625Hz) 50pm RMS 值,力曲線帶寬 (0.1Hz 到 5kHz) |
XYZ 三方向的非線性 |
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樣品尺寸和固定方式 |
210mm 直徑,真空吸附,≤ 15mm 厚 |
馬達驅動樣品臺 (X-Y 軸 ) |
180mm × 150mm 可觀測區域; 單向 2μm 重復性;雙向 3μm 重復性 |
光學系統 |
5 百萬像素數字攝像頭;180μm 至 1465μm 可視區域 ; 數字化縮放,馬達 ? 驅動聚焦 |
控制器 |
NanoScope V |
防震臺 |
可選氣動式隔音防震平臺 |
隔音體系 |
可工作在高達 85DBC 連續噪音環境中 |
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