無論樣品的大小如何，Agilent 5600LS 大鏡臺(tái) AFM 都能夠交付高分辨率的結(jié)果。 多功能 5600LS 是全球唯一一款商用 AFM，結(jié)合使用 AFM 和 STM 掃描儀可支持大樣品（在空氣中）和小樣品（在溫度控制下,空氣中或液體中）的成像。
5600LS 采用可完全尋址的 200 毫米 x 200 毫米鏡臺(tái)和全新的低噪聲設(shè)計(jì)。 真空卡盤可輕松置入直徑達(dá) 8 毫米，高 30 毫米的樣品。 通過重新定位，鏡臺(tái)可容納 300 毫米的晶片。 5600LS 是研究人員的理想工具，可用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)、生命科學(xué)研究等納米技術(shù)應(yīng)用。
5600LS 系統(tǒng)可編程電動(dòng)鏡臺(tái)可快速、精確地定位探頭，以進(jìn)行大小樣品的成像和映射。 研究人員可準(zhǔn)確地定位和識(shí)別感興趣的區(qū)域，儲(chǔ)存坐標(biāo)，并快速、精確地自動(dòng)重新定位樣品以備進(jìn)一步研究使用。
優(yōu)勢
?方便的適用于8英寸或12英寸的樣品
?實(shí)現(xiàn)原子級(jí)的分辨率
?極其的自動(dòng)化設(shè)計(jì)，使用非常簡單
?樣品臺(tái)納米級(jí)的步進(jìn)精度，且全閉環(huán)控制
?重復(fù)定位精度極高
?特殊的設(shè)計(jì)，能提供超小的熱漂水平
應(yīng)用
?電子材料
?半導(dǎo)體材料
?數(shù)據(jù)存儲(chǔ)材料
?材料科學(xué)
?聚合物科學(xué)
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